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Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry from Gratings ...

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http://web1.knvs.tp.edu.tw/AFM/ch2.htm Web天准科技致力于以领先技术推动工业数字化智能化发展,致力打造卓越的视觉装备平台型企业,主要产品包括视觉测量装备、视觉检测装备、视觉制程装备和智能驾驶方案等。 天准面 … WebApr 5, 2016 · Scatterometry is a fast, precise and low cost way to determine the mean pitch and dimensional parameters of periodic structures with lateral resolution of a few nanometer. It is robust enough for in-line process control and precise and accurate enough for metrology measurements. Furthermore, scatterometry is a non-destructive technique … eisenhower health job openings